सामग्री अनुसंधान में EBSD के अनुप्रयोग

1 परिचय इलेक्ट्रॉन बैकस्कैटर विवर्तन (ईबीएसडी) के इतिहास को 1928 में किकुची लाइन, एक ट्रांसमिशन इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप में किकुची द्वारा देखे गए बैंड के आकार के विवर्तन पैटर्न का पता लगाया जाना चाहिए, हालांकि यह किकुची लाइन इलेक्ट्रॉनिक रूप से प्रसारित होती है। 1954 तक, आलम, ब्लैकमैन और पशले ने फिल्म से ली-एफ, केआई, NaCl, PbS2 क्रिस्टल को क्लीवेज करते हुए वाइड-एंगल किकुची पैटर्न को प्रसारित करने के लिए ट्रांसमिशन इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोपी का इस्तेमाल किया, जो पहले कड़ाई से इलेक्ट्रॉनिक बैकलटर विवर्तन था। 1973 में, वेनबल्स और हैलैंड ने इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोपी को स्कैन करने पर इलेक्ट्रॉन बैकस्कैटर विवर्तन पैटर्न का उपयोग करके सामग्री का एक क्रिस्टलोग्राफिक अध्ययन किया, जिससे सामग्री विज्ञान में ईबीएसडी के आवेदन को खोल दिया गया। 1980 के दशक के अंत में, डिंगले ने इलेक्ट्रॉन बैकस्कैटर विवर्तन पैटर्न प्राप्त करने और प्राप्त करने के लिए स्क्रीन और टेलीविजन कैमरों का उपयोग किया। 1990 के दशक में, स्वचालित पैटर्निंग हासिल की गई थी। डिजिटल कैमरा, कंप्यूटर और सॉफ्टवेयर के तेजी से विकास के साथ, मौजूदा उत्पाद ईबीएसडी ने पैटर्न रिसेप्शन और संग्रह से अंशांकन तक पूर्ण स्वचालन का एहसास किया है। प्रति सेकंड 100 से अधिक फ्रेम प्राप्त कर सकते हैं किकुची पैटर्न और अंशांकन परिणाम, व्यापक रूप से भूविज्ञान, माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक, सामग्री विज्ञान और इतने पर उपयोग किया जाता है। ईबीएसडी और इसके निहित भौतिक अर्थों के गठन के सिद्धांत को अक्सर एसईएम या इलेक्ट्रॉनिक जांच पर स्थापित किया जाता है। नमूना सतह और क्षैतिज लगभग 70 ° है। जब घटना इलेक्ट्रॉन बीम नमूना में प्रवेश करती है, तो यह नमूने में परमाणुओं द्वारा बिखरेगी। इलेक्ट्रॉनों का एक काफी हिस्सा बिखरने वाले कोण के कारण नमूना सतह से बच जाता है। इलेक्ट्रॉन के इस भाग को बैकस्कैटरेड इलेक्ट्रॉन कहा जाता है। क्रिस्टल चेहरे का एक नमूना परिवार के साथ नमूना छोड़ने की प्रक्रिया में बैकस्कैटरेड इलेक्ट्रॉन ब्रैग विवर्तन स्थिति 2dsin that = λ से मिलते हैं, जो विवर्तन के विवर्तन का हिस्सा बिखरने वाले बिंदु के लिए दो कोने बनाते हैं, और क्रिस्टल विमान दो शंक्वाकार से लंबवत होता है। सतहों, दो शंक्वाकार सतह और उज्ज्वल बैंड के क्रॉस-सेक्शन के गठन के बाद प्राप्त स्क्रीन, किकुची बैंड। प्रत्येक किकुची क्षेत्र की केंद्र रेखा विमान के क्रॉस-सेक्शन से मेल खाती है जहां ब्रैग विवर्तन नमूना और प्राप्त स्क्रीन पर इलेक्ट्रॉन के बिखरने बिंदु से होता है, जैसा कि एफआईजी में दिखाया गया है। 1. एक इलेक्ट्रॉन बैकस्कैटर विवर्तन पैटर्न को एक इलेक्ट्रॉन बैकस्कैटर विवर्तन पैटर्न (EBSP) कहा जाता है। एक ईबीएसपी में अक्सर एक से अधिक किकुची बैंड होते हैं। प्राप्त स्क्रीन को EBSP एक सीसीडी डिजिटल कैमरे द्वारा डिजीटल किया गया और कैलिब्रेशन और गणना के लिए एक कंप्यूटर पर भेजा गया। यह ध्यान देने योग्य है कि ईबीएसपी नमूने की सतह के नीचे लगभग दस टन नैनोमीटर की एक पतली परत से आता है। गहरी इलेक्ट्रॉनों, हालांकि ब्रैग विवर्तन भी हो सकता है, गति की दिशा बदलने के लिए परमाणुओं द्वारा आगे बिखरे हुए हो सकते हैं क्योंकि वे नमूना सतह से आगे निकलते हैं, अंततः ईबीएसपी की पीठ बन जाते हैं। इसलिए, इलेक्ट्रॉन बैकस्कैटर विवर्तन एक सतह विश्लेषण विधि है। दूसरा, कारण यह है कि नमूना लगभग 70 ° झुका हुआ है, क्योंकि झुकाव कोण जितना बड़ा होता है, उतने ही पीछे के इलेक्ट्रॉनों का गठन होता है और मजबूत ईबीएसपी पैटर्न बनता है। हालांकि, एक बड़ा झुकाव कोण नमूना की सतह में इलेक्ट्रॉन बीम की स्थिति का नेतृत्व करेगा, नमूना को कम करने की अनुमति नहीं है उत्पाद की सतह और अन्य नकारात्मक प्रभावों का स्थानिक संकल्प, इसलिए अब ईबीएसडी नमूना को लगभग 70 ° तक झुकाता है। 1 EDD को कॉन्फ़िगर करें गठन सिद्धांत। इलेक्ट्रॉन बैककैटर विवर्तन पैटर्न में चार नमूना-संबंधित जानकारी होती है: क्रिस्टल समरूपता जानकारी; क्रिस्टल अभिविन्यास जानकारी; क्रिस्टल अखंडता जानकारी; जाली निरंतर जानकारी। कॉन्फ़िगर 2 लेखक द्वारा प्राप्त एक विशिष्ट ईबीएसपी पैटर्न दिखाता है। पैटर्न में विभिन्न क्रिस्टल चेहरों के अनुरूप कई किकुची बैंड होते हैं। केवल गैर-शून्य संरचनात्मक कारक के साथ क्रिस्टल परिवार केगिका बैंड बनाने के लिए ब्रैग विवर्तन से गुजरना होगा, जबकि शून्य संरचनात्मक कारक वाला क्रिस्टल परिवार शून्य विवर्तन तीव्रता के कारण किकुची बैंड का निर्माण नहीं करेगा। किकुची के गठन के साथ किकुची अलग किकुची प्रतिच्छेद करता है। क्योंकि किकुची क्रिस्टल प्लेन परिवार से मेल खाता है, किकुची प्रत्येक किकुची बैंड के अनुरूप प्रत्येक क्रिस्टल परिवार की सामान्य दिशा के बराबर है, अर्थात क्रिस्टल अक्ष की दिशा। जैसा कि चित्र 2 से देखा जा सकता है, किकुची बहुत घूर्णी समरूपता है। यह घूर्णी समरूपता सीधे क्रिस्टल संरचना की समरूपता से संबंधित है। विशेष रूप से, इसी क्रिस्टल अक्ष के अनुरूप घूर्णी समरूपता केंद्र समरूपता, यानी 2-रोटेशन समरूपता को जोड़ती है। जैसे कि तीन घूर्णी समरूपता के लिए क्यूबिक क्रिस्टल [111] दिशा, और EBSP पैटर्न [111] किकुची बहुत ही छह समरूपता। क्रिस्टल संरचना की समरूपता को 230 प्रकार के अंतरिक्ष समूह में विभाजित किया जा सकता है। ब्रैग विवर्तन द्वारा निर्मित इलेक्ट्रॉन बैककैटर विवर्तन पैटर्न अंतरिक्ष समूह में सममित संचालन घटकों और समान विवर्तन कारक (h, k, l) और (-h, -k, -l) के कारण अंतर नहीं कर सकता है। दूसरे रोटेशन समरूपता का परिचय, ईबीएसपी 32 प्रकार के बिंदु समूह के बीच अंतर नहीं कर सकता है, केवल 11 Laue समूह के दो प्रकार के घूर्णी समरूपता के बीच अंतर कर सकता है। दूसरे शब्दों में, EBSP पैटर्न में केवल 11 अलग-अलग घूर्णी समरूपताएं हो सकती हैं। ऊपर वर्णित 2 नी ठेठ EBSP पैटर्नों को कॉन्फ़िगर करें, प्रत्येक किकुची ज़ोन की केंद्र रेखा नमूना की संबंधित क्रिस्टल सतह के बाद प्राप्त स्क्रीन के क्रॉस-सेक्शनल लाइन के बराबर है। इलेक्ट्रॉन किरण से विकिरणित होता है। प्रत्येक किकुची इलेक्ट्रोड इलेक्ट्रॉन बीम विकिरण पर संबंधित क्रिस्टल विमान के विस्तार से मेल खाता है और स्वीकृति स्क्रीन इंटरसेप्ट द्वारा बनाई गई है, इसलिए, ईबीएसपी में नमूने की क्रिस्टलोग्राफिक अभिविन्यास जानकारी शामिल है। नमूना के क्रिस्टल अभिविन्यास की गणना नमूना नियुक्ति की स्थिति के तहत सिंगल किकुची या ट्रिपल किकुची विधि द्वारा की जा सकती है, घटना इलेक्ट्रॉन बीम और प्राप्त स्क्रीन की ज्यामिति। जाली की अखंडता स्पष्ट रूप से संबंधित है EBSP पैटर्न की गुणवत्ता। जब क्रिस्टल जाली बरकरार होती है, तो गठित ईबीएसपी पैटर्न में किकुची बैंड के किनारे तेज होते हैं, और यहां तक कि उच्च-क्रम विवर्तन भी देखे जा सकते हैं (जैसा कि एफआईजी 2 में दिखाया गया है); जब जाली गंभीर विकृति से गुजरती है और क्रिस्टल जाली के विरूपण और विकृति जैसे विकारों का कारण बनती है और बड़ी संख्या में अव्यवस्था किकुची किनारे फजी, फैलाना (चित्र 3)। इसका कारण यह है कि किगुची बैंड का गठन ब्रैग विवर्तन द्वारा किया गया है, जो सूचना की परमाणु आवधिक व्यवस्था को दर्शाता है, क्रिस्टल को जितना अधिक पूरा करता है, उतना ही अधिक ब्रैग विवर्तन की तीव्रता, किकुची बैंड के गठन के किनारे जितना तेज होगा। 3 विकृत टाइटेनियम मिश्र धातु ईबीएसपी पैटर्न को चित्र 1 से देखा जा सकता है, किकुची डब्ल्यू क्रिस्टल जाली की चौड़ाई और सतह के बीच संगत घ का निम्नलिखित संबंध है: डब्ल्यू = आर · θ (1) λ = 2dsinθ (2) जहां आर दूरी है स्क्रीन पर किकुची बैंड के बीच और नमूना पर इलेक्ट्रॉन बीम की घटना के बिंदु के बीच, और λ सामग्री में अनुसंधान की किरण तरंगदैर्ध्य है। 3 अनुसंधान सामग्री में EBSD। अनाज अभिविन्यास, अनाज अभिविन्यास वितरण (सूक्ष्म बनावट) आदत के अभिविन्यास और प्रथागत निर्धारण। ईबीएसडी स्क्रीन द्वारा प्राप्त पैटर्न सीसीडी डिजिटल कैमरा द्वारा एकत्र किया जाता है और कंप्यूटर को भेजा जाता है। कंप्यूटर प्रत्येक किकुची बैंड की स्थिति का पता लगाने के लिए पर्याप्त रूप से परिवर्तन करता है और किकुची बैंड के बीच के कोण की गणना करता है। फिर, किकुची और किकुची के मूल्यों की तुलना करने के लिए कोण सिद्धांत। चित्र 4 एक अंशांकित ईबीएसपी पैटर्न दिखाता है। चित्र में, "10" प्राप्त स्क्रीन के केंद्र को इंगित करता है, अर्थात्, नमूना पर इलेक्ट्रॉन बीम की घटना की स्थिति और स्क्रीन पर स्क्रीन ऊर्ध्वाधर लाइन प्राप्त करने का अंतर है। यदि नमूने पर इलेक्ट्रॉन बीम की स्थिति को स्क्रीन के लंबवत ज्ञात किया जाता है, तो दानों के क्रिस्टलोग्राफिक ओरिएंटेशन की गणना एक किकुची या ट्रिपल किकुची विधि का उपयोग करके की जा सकती है। परीक्षण की शर्तों को ध्यान से सेट करके, क्रिस्टल अभिविन्यास के EBSD निर्धारण की पूर्ण सटीकता 25 0.25 ° हो सकती है। यदि थोड़ा ईबीएसपी पैटर्न के लिए एक निश्चित दूरी पर नमूने में इलेक्ट्रॉन बीम, नमूना मानचित्रण की सतह पर एक निश्चित क्षेत्र है, तो आप प्रत्येक अनाज के पॉलीक्रिस्टलाइन नमूना अभिविन्यास, सांख्यिकीय गणना का निर्धारण कर सकते हैं, आप सांख्यिकीय वितरण का निर्धारण कर सकते हैं क्रिस्टल अभिविन्यास - बनावट। सीसीडी कैमरा, कंप्यूटर और सॉफ्टवेयर के तेजी से विकास के कारण, नया ईबीएसडी ईबीएसपी पैटर्न को बहुत तेजी से माप सकता है और अनाज अभिविन्यास का परिणाम दे सकता है। उदाहरण के लिए, इंग्लैंड के ऑक्सफोर्ड के क्रिस्टल प्रति सेकंड 100 से अधिक ईबीएसपी पैटर्न एकत्र कर सकते हैं और अभिविन्यास परिणाम दे सकते हैं। नमूने के देखने के एक क्षेत्र में 512 × 384 डॉट्स तक मापा जा सकता है। आवर्धन को अलग करके, हम mm2 से μm2 क्षेत्र के नमूने पर बनावट का निर्धारण कर सकते हैं। ईबीएसडी का स्थानिक संकल्प आमतौर पर लगभग 0.5μm है। यदि एक क्षेत्र उत्सर्जन स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप पर स्थापित किया जाता है, तो स्थानिक संकल्प 10 एनएम से कम हो सकता है। इसलिए, ईबीएसडी के साथ एनएम अनाज का अभिविन्यास निर्धारित किया जा सकता है। उच्च आवर्धन पर मापी गई बनावट को अक्सर माइक्रोडोमेंस कहा जाता है। इसी समय, ईबीएसडी का उपयोग बड़े क्षेत्र के मैक्रोस्कोपिक बनावट को मापने के लिए भी किया जा सकता है। कम बढ़ाई पर आसन्न क्षेत्र की बनावट को मापने के बाद, असेंबल विधि का उपयोग विभिन्न क्षेत्रों को बनावट के बड़े क्षेत्र को प्राप्त करने के लिए किया जाता है। उदाहरण के लिए, HKL कंपनी का CHANNAL5 इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप के स्वचालित नमूना चरण के सहयोग से 20 मिमी × 20 मिमी की सीमा में बनावट को माप सकता है। कॉन्फ़िगर 4. कैलिब्रेटेड नी ईबी पैटर्नईबीएसडी बनावट को कई रूपों में व्यक्त किया जा सकता है, जैसे कि ध्रुवीय नक्शे, रिवर्स ध्रुवीय नक्शे, ODF, आदि (चित्र 5 देखें)। एक्स-रे विवर्तन के साथ तुलना में, ईबीएसडी को सूक्ष्म-बनावट, चयनित क्षेत्र की बनावट और अनाज अभिविन्यास के साथ सीधे सहसंबंधी अनाज के आकार को मापने का लाभ है। इसके अलावा, एक्स-रे संरचना को एंटी-व्युत्पन्न, चयनित गणना मॉडल द्वारा गणना सटीकता, विभिन्न मापदंडों सेट के प्रभाव, सामान्य मापा बनावट और वास्तविक विचलन के बाद अनाज अभिविन्यास की विवर्तन तीव्रता को मापने के द्वारा मापा जाता है। 15% से अधिक। EBSD बनावट का निर्धारण करने के लिए प्रत्येक अनाज के आँकड़ों के निरपेक्ष अभिविन्यास को मापकर, हम सोच सकते हैं कि EBSD बनावट के निर्धारण का सबसे सटीक साधन है। बेशक, एक्स-रे, ईबीएसडी नमूना तैयार करने की समस्याओं और अन्य कमियों के साथ तुलना में। ईबीएसडी द्वारा दो चरणों के क्रिस्टलोग्राफिक झुकाव का एक साथ निर्धारण, दो चरणों के बीच क्रिस्टलोग्राफिक संबंध के निर्धारण की अनुमति देता है। दो चरणों के बीच के क्रिस्टलोग्राफिक संबंध को निर्धारित करने के लिए, आमतौर पर 30 स्थानों से ऊपर दो चरणों में से प्रत्येक के क्रिस्टलोग्राफिक अभिविन्यास को निर्धारित करना आवश्यक है। और सभी माप परिणाम दो-चरण क्रिस्टलोग्राफी स्थापित करने के लिए, आंकड़ों पर एक ही ध्रुवीय प्रक्षेपण लाल छाया पर अनुमान लगाते हैं। टीईएम और एक्स-रे की तुलना में, ईबीएसडी द्वारा दो चरणों के बीच अभिविन्यास संबंध के निर्धारण के स्पष्ट लाभ हैं। EBSD परीक्षण के लिए उपयोग किए गए नमूने की सतह समतल और समान है, और 30 से अधिक स्थानों को ढूंढना आसान है, जहां दो चरण सह-अस्तित्व में हैं। उसी समय अनाज अभिविन्यास की गणना सॉफ्टवेयर द्वारा स्वचालित रूप से की जा सकती है। छोटे इलेक्ट्रॉन पतले क्षेत्र के कारण संचरण इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोपी, दो-चरण की स्थिति के समान नमूना सह-अस्तित्व में 30 से अधिक का पता लगाना मुश्किल है। इसके अलावा, अनाज के उन्मुखीकरण की गणना मैन्युअल रूप से की जानी चाहिए। क्योंकि एक्स-रे में आम तौर पर एक इमेजिंग डिवाइस नहीं होता है, इसलिए मापा स्थिति में एक्स-रे का सटीक पता लगाना मुश्किल होता है। जब चरण का आकार छोटा होता है, तो एक्स-रे द्वारा इंटरफेज़ क्रिस्टल संबंध निर्धारित करना मुश्किल होता है। 5 उच्च शुद्धता नी बेसबैंड पोलर और रिवर्स पोल फिगर को कॉन्फ़िगर करें। इसके अलावा, जब अभ्यस्त, जुड़वां विमान, पर्ची विमान और इसी तरह के बीच दूसरे चरण और सब्सट्रेट नमूना सतह पर निशान छोड़ते हैं, खासकर जब निशान दो या दो से अधिक मरने वाले सतहों पर छोड़ दिए जाते हैं, तो ईबीएसडी का उपयोग इन विमानों को निर्धारित करने के लिए किया जा सकता है। क्रिस्टल आइडेंटिफिकेशन इंडेक्स ।.2 फेज आइडेंटिफिकेशन के लिए फेज आइडेंटिटी सीसीडी के विकास का परिणाम है 1999 के बाद के डिजिटल कैमरे। चरण की पहचान के लिए आवश्यक है कि कैमरे में पर्याप्त संख्या में ग्रेस्केल्स हों और कमजोर किकुची रेखाओं का पता लगाने के लिए पर्याप्त उच्च स्थानिक संकल्प हो। सीसीडी कैमरों में अब आम तौर पर 12bit ग्रे स्केल होता है, अर्थात 212 ग्रे लेवल, और चरण पहचान आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए 1300 × 1024 तक का स्थानिक रिज़ॉल्यूशन। ईबीएसडी के साथ चरणों की पहचान के लिए ईडीएस की सहायता की आवश्यकता होती है। सामान्य स्पेक्ट्रम स्पेक्ट्रम के साथ पहले यह निर्धारित करने के लिए कि संरचना के चरण के किन तत्वों को पहचाना जाए, और फिर चरण EBSP पैटर्न को एकत्रित किया जाए। इन तत्वों के साथ बनने वाली सभी वस्तुओं को पैटर्न के खिलाफ कैलिब्रेट किया जाता है, और केवल वह चरण जो पैटर्न से बिल्कुल मेल खाता है, पहचाना गया चरण है (चित्र 6 देखें)। यह ध्यान दिया जाना चाहिए कि ईबीएसडी के चरण पहचान का सिद्धांत अलग है टीईएम और एक्स-रे विवर्तन की चरण पहचान। EBSD मुख्य रूप से चरण की पहचान करने के लिए क्रिस्टल चेहरे के बीच के कोण पर आधारित है, क्योंकि एक EBSP में लगभग 70 ° क्रिस्टल अभिविन्यास जानकारी शामिल है, और TEM इंटरप्लानर रिक्ति और क्रिस्टल कोण पर आधारित है चरण की पहचान करने के लिए, X -ray इंटरप्लेनार पर आधारित है रिक्ति और चरण की पहचान करने के लिए प्रत्येक क्रिस्टल चेहरे की सापेक्ष विवर्तन तीव्रता। चूंकि एक्स-रे इंटरप्लानर रिक्ति को सही ढंग से माप सकता है, इसलिए एक्स-रे चरण की पहचान को चरण रचना के पूर्व ज्ञान की आवश्यकता नहीं होती है; और इंटरप्लानर रिक्ति त्रुटि के निर्धारण में ईबीएसडी और टीईएम बड़ा है, आपको पहले चरण के घटकों को निर्धारित करना होगा कि उम्मीदवार सीमा को संकीर्ण करना है। हालाँकि, तीन विवर्तन विधियाँ एक निश्चित क्रिस्टल प्लेन के विवर्तन के संदर्भ में समान हैं, अर्थात क्रिस्टल प्लेन का संरचनात्मक कारक शून्य नहीं होना चाहिए। AlN और Cr23C6 स्टेनलेस स्टील के EBSP और उनके अंशांकन 3। 3 EBSD स्ट्रेन डिस्ट्रीब्यूशन मेजरमेंट मेथड ।3.3.1 EBSD पैटर्न क्वालिटी डायग्राम, EBSD में, प्रत्येक विवर्तन पैटर्न को उसके तीखेपन के आधार पर एक पैटर्न क्वालिटी वैल्यू द्वारा दर्शाया जाता है और मैपिंग के लिए इस्तेमाल किया जा सकता है। चमकीले धब्बे उच्च पैटर्न गुणवत्ता के अनुरूप होते हैं, काले धब्बे निम्न पैटर्न गुणवत्ता के अनुरूप होते हैं। निम्न-गुणवत्ता का मतलब है कि जाली पूरी नहीं है, बहुत सारे दोष और अन्य अव्यवस्थाएं हैं। पैटर्न गुणवत्ता मानचित्र विधि एक दाने में तनाव वितरण की माप के लिए उपयुक्त है और अलग-अलग अनाज या विभिन्न क्रिस्टल अभिविन्यास वाले विभिन्न चरणों के बीच तनाव वितरण के निर्धारण के लिए उपयुक्त नहीं है क्योंकि यहां तक कि तनाव अनाज या विभिन्न क्रिस्टल की अनुपस्थिति में भी अभिविन्यास प्रत्येक में एक अलग पैटर्न गुणवत्ता मान होता है ।.3.3.2 अनाज सीमा वितरण। इसका आधार यह है कि विरूपण क्षेत्र में बड़ी संख्या में कम कोण वाली अनाज सीमाएं होती हैं (जैसे 2 डिग्री से 10 डिग्री की बेमेल डिग्री के साथ अनाज की सीमाएं) ।3.3। 3 स्थानीय बेमेल नक्शा प्रत्येक माप बिंदु और उसके आस-पास के आठ पड़ोसियों के बीच बेमेल कोण के औसत को ध्यान में रखते हुए, उच्च-कोण अनाज सीमाओं (जैसे> 5 ° अनाज सीमा) को ध्यान में रखते हुए, स्थानीय तनाव परिवर्तनों के लिए जिम्मेदार नहीं है, भले ही अनाज का आकार .3.4। प्रत्येक दाने के साथ इंट्राग्रान्युलर बेमेल डायग्राम, जिस बिंदु पर बेमेल कोण ढाल सबसे छोटा होता है (यानी, के साथ बिंदु कम से कम विरूपण) की गणना की जाती है। इस बिंदु के उन्मुखीकरण को संदर्भ अभिविन्यास के रूप में लेते हुए, इस बिंदु के संबंध में क्रिस्टल में अन्य सभी बिंदुओं के बेमेल कोण की गणना की जाती है। यह कथानक स्पष्ट रूप से सबसे उपजा हुआ अनाज दिखाता है ।.3.3.5 समतुल्य तनाव आरेख प्रत्येक अनाज के भीतर अभिविन्यास वितरण को पूरा करता है, और अनाज के आकार के अनुसार एक निश्चित वजन देता है। फिर, पूरे क्षेत्र के आइसोस्ट्रेन वितरण को सुचारू करने के लिए एक चौरसाई कारक का उपयोग किया जाता है, जो उच्च तनाव क्षेत्र को हाइलाइट करता है (चित्र 7 देखें)। कॉन्फ़िगर करें दरार 3.4 के पास 7 तनाव वितरण। प्रत्येक अनाज के क्रिस्टलोग्राफिक अभिविन्यास के निर्धारण में अनाज सीमा गुण। , अनाज के बीच बेमेल कोण को बड़े-कोण अनाज की सीमाओं, छोटे-कोण अनाज की सीमाओं, उप-अनाज की सीमाओं और पसंद को अलग करने के लिए आसानी से गणना की जा सकती है, और संयोग जाली मॉडल (सीएसएल) के अनुसार अध्ययन किया जा सकता है या नहीं अनाज सीमा एक सुसंगत अनाज सीमा है। जैसे कि and3, ,9, Σ27 और अन्य संयोग जाली जाली सीमाएं आम तौर पर जुड़वां सीमाएं हैं। इसके अलावा, विभिन्न बेमेल कोणों का अध्ययन किया जा सकता है ।.3.5 जाली निरंतर निर्धारण। किकुची क्षेत्र की चौड़ाई को मापने के लिए, इसी क्रिस्टल विमानों के इंटरप्लेनार रिक्ति की गणना की जा सकती है। यह ध्यान दिया जाना चाहिए कि प्रत्येक किकुची बैंड का किनारा दो हाइपरबोलिक वक्रों के बराबर है, इसलिए किकुची बैंड में विभिन्न पदों पर मापा गया चौड़ाई मान अलग-अलग है। क्रिस्टल रिक्ति की गणना करने के लिए किकुची को आमतौर पर बैंड की सबसे संकीर्ण चौड़ाई पर मापा जाना चाहिए। मापने की प्रक्रिया में त्रुटि के कारण, ईबीएसडी द्वारा विमानों के बीच की दूरी को मापने की त्रुटि आम तौर पर लगभग 1.5% है। इसलिए, EBSD जाली को मापने का एक विशेष तरीका नहीं है। उपरोक्त उपयोगों के अलावा, EBSD विभिन्न नमूनों के क्रिस्टल ग्रेन ओरिएंटेशन को सटीक रूप से निर्धारित कर सकता है। जब नमूना अनाज को मेटलोग्राफिक विधि द्वारा निर्धारित किया जाना मुश्किल होता है, तो क्रिस्टल दाने का वास्तविक वितरण और नमूने में अनाज के आकार का वितरण EBSD.4 द्वारा किया जा सकता है। व्यापक रूप से अनाज अभिविन्यास, सूक्ष्म बनावट, अभिविन्यास, निवास स्थान की सतह और चरण पहचान, तनाव वितरण, अनाज सीमा गुणों और जाली निरंतर अन्य निर्धारण के लिए उपयोग किया जाता है। आमतौर पर उपयोग किए जाने वाले एक्स-रे विवर्तन की तुलना में, टीईएम में चयनित इलेक्ट्रॉन विवर्तन की अपनी विशेषताएं हैं। विशेष रूप से जब स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप पर लगाया जाता है, तो इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोपी को स्कैन करना एक व्यापक विश्लेषणात्मक उपकरण के रूप में आकृति विज्ञान अवलोकन, संरचनात्मक विश्लेषण और संरचना निर्धारण (ऊर्जा स्पेक्ट्रम और स्पेक्ट्रोस्कोपी के साथ) के कार्य के पास होता है।
स्रोत: मेयौ कार्बाइड